光柵尺讀數是否準確的一個簡便的方法就是看光柵尺的反復走數能否歸零。如果光柵尺的刻度均勻，則重復走數可以正常歸零，則似乎可以斷定這支光柵尺的讀數是準確的。
方法如下：先把讀數頭移到尺子的任意一頭，并且是盡頭。然后歸零數顯表。然后把讀數頭移動任意的行程，然后再返回初始位移。這時看數顯表是不是讀數為零。重復幾次這樣任意的行程測試。如果都能正常歸零，則尺子應該是好的。反之表示讀數不準確，得找其它原因。
當光柵尺發生故障時該如何處理：
1、光柵尺故障絕大多數問題出在讀數頭上。首先是元件老化造成的失效，其次因其是運動部件，很可能會出現機械磨損或部件脫落現象。
2、不要試圖用任何東西清理讀數頭上的光學器件，尤其是有機溶劑，可能會加劇電路板老化并破壞透鏡上的鍍膜涂料。
3、光柵尺本體也是可能出現問題的，光柵尺本體有一根作為基準光柵的光柵玻璃，其是有刻度的，如果安裝不到位的話，比如水平和垂直誤差過大，時間久了后，光柵玻璃的精度會喪失。而且光柵玻璃也有可能斷裂或者缺口，如果出現斷裂，如果斷裂部分在光柵尺用不到的頂部，還是可以用的，如果在*位置，必須要更換新尺。尺子本體內部進雜物如鐵屑等臟物時，也會造成讀數不準備，
4、每安裝一把光柵尺，必須要對其尺子本體進行打表，有兩個面，水平面和垂直面都要打，短尺控制在10絲以內，長尺控制在20絲以內。如果打表不準確的話，不但可能會影響尺子的精度，甚至會影響尺子的使用壽命。
5、維修光柵尺是一項細致的工作，要事先做好一切準備，包括技術咨詢、元器件的選型配備、維修中的輕拿輕放、避免污染等都要注意，真正稱得上是一件細節決定成敗的工作。
